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R sonateurs Ondes Acoustiques Guid es Sur Miroir de Bragg
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Les composants passifs électro-acoustiques sont des éléments critiques des architectures RF. Les plus représentés sont les filtres ŕ ondes acoustiques de surface (SAW) ou de volume (BAW), qui permettent le filtrage RF (filtre d'antenne). Pour le filtrage de canal, les solutions SAW sont actuellement en place, bien que des travaux récents aient montré l'intéręt des résonateurs ŕ ondes de Lamb pour ce type d'application. Ces derniers composants présentent l'avantage d'ętre compatibles avec une technologie de fabrication de filtres BAW réalisés sur membrane suspendue (FBAR), permettant une co-intégration des deux types de composants ŕ moindre coűt. Toutefois, le choix technologique de STMicroelectronics et du CEA-Leti s'est porté sur une technologie de résonateurs BAW réalisés sur miroir de Bragg (SMR). Le but de cette thčse est donc de démontrer la possibilité de réaliser des résonateurs reprenant le principe des résonateurs ŕ ondes de Lamb, mais co-intégrables avec des BAW-SMR.
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