Doprava zdarma se Zásilkovnou nad 1 499 Kč
PPL Parcel Shop 54 Kč
Balík do ruky 74 Kč
Balíkovna 49 Kč
GLS 54 Kč
Kurýr GLS 74 Kč
Zásilkovna 49 Kč
PPL 99 Kč
Jak nakupovat
Pomoc
Doručení
PPL Parcel Shop 54 Kč
Balík do ruky 74 Kč
Balíkovna 49 Kč
GLS 54 Kč
Kurýr GLS 74 Kč
Zásilkovna 49 Kč
PPL 99 Kč
Doprava zdarma se Zásilkovnou nad 1 499 Kč
Nákupní rádce
Jsme tu pro vás!
571 999 090
Můj účet
Staňte se součástí komunity milovníků knih z celého světa a získejte hromadu výhod.
Založit účet zdarma
▸
Prázdný :-(
0
Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Jazyk
Angličtina
Angličtina
Kniha
Pevná
The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in t...
Celý popis
Libristo kód: 02060050
?
63 b
Připravujeme
63 b
Připravujeme
626
Kč
včetně DPH
Očekávaný dotisk
Termín neznámý
Termín neznámý
30 dní na vrácení zboží
The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in traditional RTP processes such as dielectric growth, annealing and silicides, as well as developments in integrated processes. The primary focus, however, is the manufacturing aspects of RTP and the successful integration of RTP into production semiconductor fabs. Emphasis is placed on process and equipment modelling and the critical aspects of RTP, such as temperature measurement, uniformity and control. Topics include: modelling, sensors and control; integrated processing and manufacturing; dielectrics; epitaxy, polysilicon and devices; and junctions, metallization and contacts.
Informace o knize
Plný název
Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Jazyk
Angličtina
Angličtina
Vazba
Kniha - Pevná
Datum vydání
1995
Počet stran
455
EAN
9781558992900
ISBN
1558992901
Libristo kód
02060050
Nakladatelství
Materials Research Society
Váha
795
Rozměry
160 x 231 x 30
