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Gegenstand dieser Dissertation ist die Skalierung der Produktivität beim UKP-Laserabtrag durch Verwendung großer mittlerer Laserleistung von mehreren 100 Watt bei hohen Repetitionsraten im Bereich mehrerer Megahertz. Dazu werden die limitierenden Effekte bei der Skalierung sowohl im Rahmen eines theoretischen Modells beschrieben als auch experimentellen untersucht. Auf Grundlage des gewonnenen Prozessverständnisses kann eine deutliche Steigerung der Produktivität beim UKP-Abtrag erzielt werden.