Performancesteigerung von Die-Bond-Maschinen

An Bestückungsmaschinen für die Halbleiterproduktion (Die-Bonder) werden hohe Anforderungen hinsichtlich Genauigkeit und Durchsatz gestellt. Aus diesen Anforderungen leitet sich die Aufgabenstellung der Diplomarbeit ab: Erhöhung der Maschinengenauigkeit und Verbesserung der Zykluszeiten der Maschine. Im Rahmen dieser Diplomarbeit werden drei Zugänge zu diesen Problemstellungen gewählt: Servoregelung: Die Positionsregelung der Antriebe hat einen wesentlichen Einfluss. Im Speziellen wird das ergänzende Feedforward betrachtet und ein Algorithmus entwickelt, der eine optimale Einstellung der entsprechenden Parameter ermöglicht. Bewegungsprofile: Die Verläufe von Beschleunigung, Geschwindigkeit und Position der Achsbewegungen können prinzipiell frei gewählt werden. Ziel dieses Kapitels ist es daher, optimale Bewegungsprofile hinsichtlich Verfahrzeit und Verlustleistung zu finden. Maschinendynamik: Die dynamischen Eigenheiten des Maschinengestells können die Maschinengenauigkeit stark beeinflussen. Daher steht in diesem Kapitel die Optimierung in maschinenbaulicher Hinsicht im Vordergrund, um Probleme durch mechanische Schwingungen zu minimieren.