Nehodí se? Vůbec nevadí! U nás můžete do 30 dní vrátit
S dárkovým poukazem nešlápnete vedle. Obdarovaný si za dárkový poukaz může vybrat cokoliv z naší nabídky.
30 dní na vrácení zboží
Rabota posvyashhena voprosu tehnologicheskogo osnashheniya mikrojelektronnogo proizvodstva. V knige privoditsya informaciya o naznachenii i konstrukcii jelementov tehnologicheskih ustanovok, obespechivajushhih serijnoe mikrojelektronnoe proizvodstvo. Rassmatrivajutsya sredstva sozdaniya i kontrolya vakuuma, metody i sredstva ispareniya materialov, poluchenie i kontrol' parametrov tonkih plenok, ustrojstva jepitaxial'nogo narashhivaniya, metody i sredstva polucheniya zashhitnyh dijelektricheskih sloev, metody i osnashhenie dlya legirovaniya poluprovodnikov. Privodimaya informaciya mozhet byt' polezna inzheneram, tehnologam, razrabotchikam mikrojelektronnyh izdelij, a takzhe studentam vysshih tehnicheskih uchebnyh zavedenij.